Технические характеристики анализаторов остаточных газов RGA:
Диапазон атомных масс:
RGA 100: от 1 до 100 а.е.м.
RGA 200: от 1 до 200 а.е.м.
RGA 300: от 1 до 300 а.е.м.
Тип анализатора: квадрупольный
Тип детектора: чаша Фарадея (FC) — стандарт, электронный умножитель (ЕМ) — опция
Разрешение: менее 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс
Чувствительность:
(А/Торр): 2х10-4 (чаша Фарадея) / < 200 (электронный умножитель)
Регулируется на всем диапазоне высоких напряжений. Измерена на азоте (28 а.е.м.),
с шириной пика 1 а.е.м., высотой 10%, энергией электронов 70 эВ, энергией ионов 12 эВ
и током эмиссии электронов 1 мА.
Минимальное регистрируемое парциальное давление:
5×10-11 Торр (чаша Фарадея) / 5×10-14 Torr (электронный умножитель)
Измерено на азоте (28 а.е.м.), с шириной пика 1 а.е.м., высотой 10%, энергией электронов 70 эВ, энергией ионов 12 эВ и током эмиссии электронов 1 мА.
Рабочее давление:
от 10-4 Торр до UHV (чаша Фарадея) / от 10-6 Торр до UHV (электронный умножитель)
Максимальная рабочая температура: 70 °C
Температура отжига: 300 °C (без электронного блока)
Ионизатор
Конструкция: открытый ионный источник, симметричный цилиндр, тип ионизации — электронный удар
Материал: нержавеющая сталь SS 304
Нить: двойная торий-иридиевая, с аппаратной защитой, быстросъемная. Встроенный блок дегазации 1-10Вт.
Энергия электронов: 25 — 105 эВ (регулируется через компьютер)
Ток эмиссии: 0 — 3.5 мА (регулируется через компьютер)
Энергия ионов: 0 — 12 В (регулируется через компьютер)
Напряжение фокусировки: 0 — 150 В (регулируется через компьютер)
Основные характеристики:
- Размер пробы 8.75″ от фланца до ионизатора
- Глубина проникания — 2″
- Присоединительный фланец — 2.75″ CF
- Минимальный внутренний диаметр трубки — 1.375″
- Размер электронного блока: 9.1″х 4.1″х 3.1″
- Светодиодные индикаторы: вкл/выкл питание, вкл/выкл дегазация, вкл/выкл электронный умножитель, порт RS 232 занят, ошибка, избыточное давление, сгорела нить.
- Время готовности к работе: стабильность массы ±0.1% а.е.м. после 30 мин.
- Интерфейс: RS 232С, скорость 28800
- Программное обеспечение: под ОС Windows
- Питание: 24 В, 2.5 А. Разъем DB9, опциональный 110/120/220/240 В адаптер.
- Вес: 2,7 кг
По вопросам приобретения оборудования или получения дополнительной технической информации обращайтесь в наш офис.
|
